ATEQ-Durchflussmessgeräte können einen breiten Bereich von Luftdurchsätzen messen, von 1 cm3/min bis 10 000 l/h, je nach Konfiguration. 

Bei kleineren Durchflussmengen ist die Leckage besser geeignet, bei größeren Durchflussmengen ist der Durchfluss besser geeignet. 

ATEQ-Geräte sind in der Regel für die Messung des Luftdurchflusses geeignet, wobei einige Geräte in einer Konfiguration erhältlich sind, die für die Messung von Erdgas (LPG) geeignet ist. 

Das Messprinzip beruht auf der Messung des Druckabfalls, den ein durch eine Kapillare strömendes Gas erleidet, so dass der Messbereich des Geräts durch den Durchmesser der Kapillare (ihre Durchlässigkeit im laminaren Bereich) bestimmt wird.

Die Geräte können sowohl im direkten als auch im indirekten Modus eingesetzt werden, d.h. das Gerät kann im Messsystem vor dem zu messenden Teil vorbeigeführt werden und die Luft kann aus dem Teil nach außen entweichen. Die indirekte Messung liefert ein schnelleres Messergebnis, wobei vor dem Bauteil ein konstanter Druck gewährleistet sein muss und die durch das Bauteil strömende Luft in das Gerät geleitet werden muss.

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